{"id":1106,"date":"2023-04-04T17:22:25","date_gmt":"2023-04-04T15:22:25","guid":{"rendered":"https:\/\/planoptik.eu\/?p=1106"},"modified":"2026-02-27T20:47:02","modified_gmt":"2026-02-27T19:47:02","slug":"plan-optik-und-4jet-kooperieren","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/planoptik.com\/de\/plan-optik-und-4jet-kooperieren\/","title":{"rendered":"Plan Optik und 4JET kooperieren"},"content":{"rendered":"<ul style=\"margin-top:0px;\">\n<li>Prozessinnovation f\u00fcr Through Glass Vias im Bereich  Advanced-Packaging<\/li>\n<li>Premiere auf der Touch Taiwan am 19-21. April in Taipeh<\/li>\n<\/ul>\n<p><strong>Elsoff, Alsdorf, 04.04.2023<\/strong>. Die Plan Optik AG (Elsoff) und die 4JET microtech (Alsdorf) haben gemeinsam eine Prozesskette f\u00fcr die hochproduktive Herstellung von metallisierten Durchgangsbohrungen in Glas entwickelt.<\/p>\n<p>Das neue VLIS Verfahren (kurz f\u00fcr Volume Laser Induced Structuring) erm\u00f6glicht die Herstellung hochpr\u00e4ziser TGV (\u201eThrough Glass Vias\u201c) f\u00fcr Advanced-Packaging in Glaswafern, oder Substraten f\u00fcr Displays.<\/p>\n<p>TGV sind Mikrol\u00f6cher mit einem Durchmesser von typischerweise 10\u00b5m bis 100\u00b5m. F\u00fcr verschiedene Anwendungen im Advanced-Packaging-Sektor werden zehntausende dieser Vias pro Wafer aufgebracht und metallisiert, um die geforderte Leitf\u00e4higkeit herzustellen. Auch bei der Herstellung von randlosen Displays, zum Beispiel auf Basis von \u00b5LED, werden TGV\u2019s eingesetzt. Bisherige Verfahren f\u00fcr die Herstellung waren langsam, mit hohen Ausschussraten verbunden und die Abstimmung auf den Metallisierungsprozess schwierig.<\/p>\n<p>Die Teams der beiden Unternehmen haben nun eine L\u00f6sung entwickelt, mit der sich mehrere 10.000 Vias pro Minute vorbereiten lassen, die in einem anschlie\u00dfenden Batchprozess ge\u00e4tzt werden, um im Anschluss beschichtet zu werden. Die entstehenden Kan\u00e4le sind mit einer Loch-zu-Loch Genauigkeit besser +\/- 2\u00b5m positioniert, die Substrate sind frei von Mikrorissen und die Innenseiten der Kan\u00e4le sind glattwandig und k\u00f6nnen homogen metallisiert werden. Das Verfahren eignet sich f\u00fcr die in der Halbleiter- und Displayindustrie typischen Glastypen. Neben Glas-Startdicken von 100\u00b5m lassen sich verschiedene Kupfer-Schichten bis zu 25\u00b5m Dicke realisieren.<\/p>\n<p>Die beiden Partner haben eine Kooperation vereinbart, die den Anwendern hohe  Flexibilit\u00e4t liefert: Kunden k\u00f6nnen entweder mit VLIS hergestellte Bauteile bei Plan Optik beziehen, oder von 4JET und Partnern qualifizierte Gesamtl\u00f6sungen f\u00fcr die Systemtechnik inklusive Laseranlagen, Nasschemie und Metallisierung erwerben.<\/p>\n<p>Plan Optik verf\u00fcgt bereits heute \u00fcber eine moderne Produktionskette f\u00fcr die Herstellung von Glaswafern und beherrscht s\u00e4mtliche Prozesschritte vom Waferzuschnitt und der Kantenbearbeitung, \u00fcber die Strukturierung und Reinigung bis hin zur Metallisierung. Die Erg\u00e4nzung mit der Anlagentechnologie von 4JET erm\u00f6glicht nun das schnelle und positionsgenaue Modifizieren von Substraten. Zum Einsatz kommt dabei eine modifizierte Version der bew\u00e4hrten 4JET Lasersysteme zum Trennen von Glas. Die PEARL Plattform bereits zum Schneiden von Glassubstraten in der Display-, Architekturglas, oder Medizintechnik eingesetzt. Die Anlagen sind je nach Version in der Lage, Glas mit einer Gr\u00f6\u00dfe von bis zu 2,2 m Breite und mehr als 3 m L\u00e4nge hochpr\u00e4zise zu modifizieren.<\/p>\n<p><strong>Eine neue Technologie<\/strong><\/p>\n<p>Der Einsatz von Lasertechnik zum selektiven \u00c4tzen ist nicht neu, insgesamt liefert die Kooperation jedoch erhebliche Fortschritte f\u00fcr die Kunden: durch die Kombination mit der umfangreichen Prozesskette der Plan Optik AG entsteht die weltweit f\u00fchrende L\u00f6sungskette f\u00fcr komplett bearbeitete und metallisierte TGV Wafer. Gleichzeitig erm\u00f6glicht die nun erreichbare Pr\u00e4zision, Geschwindigkeit und die Verf\u00fcgbarkeit auf sehr gro\u00dfen Substraten erstmals die Anwendung in der Displayfertigung.<\/p>\n<p>Die beiden Partner sehen weiteres Potenzial f\u00fcr das VLIS Verfahren f\u00fcr glasbasierte MEMS, Mikrofluidik oder Hochfrequenz-Antennentechnik (z.B. 6G).<\/p>\n<p>Die PEARL-Systeme basieren auf einer Granit-Maschinenplattform, die eine inh\u00e4rente Genauigkeit und Langzeitstabilit\u00e4t bietet. Schneidgeometrien und Positionen f\u00fcr Interposer k\u00f6nnen einfach aus CAD-Zeichnungen importiert werden. Die gezielte Abstimmung der Achssteuerungen f\u00fchrt nicht nur zu einer hohen Schnittgeschwindigkeit, sondern auch zu einer exzellenten Bahngenauigkeit, um eine hochpr\u00e4zise Bearbeitung zu erreichen. Der PEARL DYNAMIC FOCUS sorgt daf\u00fcr, dass der Fokus immer innerhalb des Prozessfensters liegt, ohne die Prozesszeit zu erh\u00f6hen.<\/p>\n<p>Weitere Informationen finden Sie im Internet unter <a href=\"https:\/\/vlis.tech\/\" target=\"_blank\"><strong>> vlis.tech<\/strong><\/a>.<\/p>\n<p><strong>Plan Optik AG<\/strong><\/p>\n<p>Als Technologief\u00fchrer produziert die Plan Optik AG an Standorten in Deutschland und Ungarn strukturierte Wafer, die als aktive Elemente f\u00fcr zahlreiche Anwendungen der Mikrosystemtechnik in Branchen wie Consumer Electronics, Automotive, Luft- und Raumfahrt, Chemie und Pharma unverzichtbar sind.<\/p>\n<p><strong>4 Jet Group<\/strong><\/p>\n<p>Die in Alsdorf ans\u00e4ssige 4JET Gruppe liefert L\u00f6sungen f\u00fcr die Oberfl\u00e4chentechnik der Zukunft. Zu den Kunden z\u00e4hlen unter anderem alle weltweit f\u00fchrenden Reifenhersteller, zahlreiche Automotive Zulieferer und OEM, sowie die gr\u00f6\u00dften Hersteller von Flachglas und D\u00fcnnschicht-Photovoltaikzellen.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Prozessinnovation f\u00fcr Through Glass Vias im Bereich Advanced-Packaging Premiere auf  [&#8230;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[20],"tags":[],"class_list":["post-1106","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-ir-news"],"yoast_head":"<!-- This site is optimized with the Yoast SEO plugin v27.9 - https:\/\/yoast.com\/product\/yoast-seo-wordpress\/ -->\n<title>Plan Optik und 4JET kooperieren - PLANOPTIK AG<\/title>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/planoptik.com\/de\/plan-optik-und-4jet-kooperieren\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"de_DE\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"Plan Optik und 4JET kooperieren - 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