Abgestimmt auf Verwendungszweck und Kundenanforderung überzeugen Plan Optik Wafer aus Glas durch ein extrem hohes Maß an Präzision.
Plan Optiks Angebot an Glaswafern
Im Sortiment des Waferherstellers befinden sich Substratwafer aus verschiedenen Werkstoffen wie Glas, Quarzglas, alkalifreies Glas oder Glas-Silizium-Verbundwerkstoffen – abgestimmt auf die Anforderungen der Kunden.
Zu den Produkten gehören:
BOROSILIKAT-WAFER
- CTE angepasst an Silizium
- geeignet für anodisches Bonden
- Standardpoliert – oder mit der eigens entwickelten MDF-Polierverfahren poliert (ohne Mikrobeschädigung)
- hohe chemische Beständigkeit und thermische Stabilität
QUARZWAFER
- sehr niedriger OH-Gehalt und geringer Spurenmetallgehalt
- gute chemische Reinheit
- sehr hohe Wärmebeständigkeit
- Oberflächenrauhigkeit (Ra) < 0,5 nm
- Durchlässigkeit > 80 % bei 200 nm
- Transmission > 90 % von 225 nm bis 2600 nm
FUSED-SILICIA-WAFER
- vollsynthetisches Material
- sehr geringer Gehalt an Spurenmetallen
- hohe Wärmebeständigkeit
- Oberflächenrauhigkeit (Ra) < 0,5 nm
- Transmission > 90 % von 200 nm bis 2000 nm
ALKALIFREIE GLASWAFER
- alkalifreies Glas
- an Silizium angepasstes CTE
- keine Schwermetalle (wie Arsen, Antimon, Barium oder Halogenide)
- geringe Fluoreszenz
- ausgezeichnete thermische Eigenschaften
- hohe chemische Beständigkeit
SILICON ON GLASS WAFER (SOG)
- kristalline Siliziumschicht
- dicke Isolierschicht oder dicke Siliziumschicht
- dauerhaft gebundene Silizium/Glas-Verbindung
- minimale Einzelschichtdicke bis zu 20 µm
- Gesamtdicke bis zu 250 µm
Eigenschaften der Glaswafer auf einen Blick
Das Qualitätsmanagement und die jahrelange Expertise der Plan Optik AG garantieren die hohe Qualität der Produkteigenschaften bei jeder Charge der Glaswafer-Produktion:
- verschiedene Arten von Glas und Quarz
- hergestellt nach kundenspezifischen Spezifikationen
- Standard SEMI / JEIDA Spezifikationen von 2″ bis 300 mm
- Plattengröße und kundenspezifische Durchmesser
- Dicke von 200 µm bis 2 mm
- geringe Dickentoleranz und ttv (total thickness variation)
- hohe Oberflächenqualität (Oberflächenrauhigkeit (Ra) max. < 1nm)
- Großserienfertigung möglich
Anwendungen
Anwendungsgebiete für Glaswafer von Plan Optik
Die Vorteile von Glas als Wafer-Material kommen vor allem im Bereich der Mikrosystem-Technologie zum Tragen. Hersteller für Unterhaltungselektronik, die Automobil-Branche oder industrielle Sensor-Technologie setzen verstärkt auf das Material Glas, zum Beispiel in Form von Packaging-Wafern oder für das Fan-Out Wafer Level Packaging (FOWLP).
Die Plan Optik AG produziert als führender Wafer-Hersteller Produkte für den wachsende Technologie-Märkte: Die Glaswafer, die unter anderem in Fahrassistenz-Systemen, Motorsteuerungen oder Medizintechnik eingesetzt werden, erfüllen hohe Standards in Bezug auf Dickentoleranz, Oberflächengüte und Materialqualität. Die unternehmenseigenen Fertigungsprozesse, die Plan Optik zur Waferherstellung entwickelt hat, sowie die langjährige Erfahrung in der Glasbearbeitung machen Wafer möglich, die exakt den angeforderten Eckdaten entsprechen.
Wenn Sie eine Projekt- oder Produktidee haben, zögern Sie bitte nicht, uns zu kontaktieren!
Benötigen Sie Ihre Produkte mit kurzer Lieferzeit?
Wafer Universe bietet eine große Auswahl an qualitativ hochwertigen Wafern aus Glas und Quarz – ab Lager an. Bei Wafer Universe finden Sie eine große Auswahl an Wafern unterschiedlicher Durchmesser und Stärken sowie Materialien, darunter Borosilikat-Wafer (mit regelmäßigem oder verbessertem MDF-Polieren), alkalifreie Glaswafer und Quarz-Wafer (Quarz mit Halbleiterqualität).
