Plan Optik und 4JET kooperieren
- Prozessinnovation für Through Glass Vias im Bereich Advanced-Packaging
- Premiere auf der Touch Taiwan am 19-21. April in Taipeh
Elsoff, Alsdorf, 04.04.2023. Die Plan Optik AG (Elsoff) und die 4JET microtech (Alsdorf) haben gemeinsam eine Prozesskette für die hochproduktive Herstellung von metallisierten Durchgangsbohrungen in Glas entwickelt.
Das neue VLIS Verfahren (kurz für Volume Laser Induced Structuring) ermöglicht die Herstellung hochpräziser TGV („Through Glass Vias“) für Advanced-Packaging in Glaswafern, oder Substraten für Displays.
TGV sind Mikrolöcher mit einem Durchmesser von typischerweise 10µm bis 100µm. Für verschiedene Anwendungen im Advanced-Packaging-Sektor werden zehntausende dieser Vias pro Wafer aufgebracht und metallisiert, um die geforderte Leitfähigkeit herzustellen. Auch bei der Herstellung von randlosen Displays, zum Beispiel auf Basis von µLED, werden TGV’s eingesetzt. Bisherige Verfahren für die Herstellung waren langsam, mit hohen Ausschussraten verbunden und die Abstimmung auf den Metallisierungsprozess schwierig.
Die Teams der beiden Unternehmen haben nun eine Lösung entwickelt, mit der sich mehrere 10.000 Vias pro Minute vorbereiten lassen, die in einem anschließenden Batchprozess geätzt werden, um im Anschluss beschichtet zu werden. Die entstehenden Kanäle sind mit einer Loch-zu-Loch Genauigkeit besser +/- 2µm positioniert, die Substrate sind frei von Mikrorissen und die Innenseiten der Kanäle sind glattwandig und können homogen metallisiert werden. Das Verfahren eignet sich für die in der Halbleiter- und Displayindustrie typischen Glastypen. Neben Glas-Startdicken von 100µm lassen sich verschiedene Kupfer-Schichten bis zu 25µm Dicke realisieren.
Die beiden Partner haben eine Kooperation vereinbart, die den Anwendern hohe Flexibilität liefert: Kunden können entweder mit VLIS hergestellte Bauteile bei Plan Optik beziehen, oder von 4JET und Partnern qualifizierte Gesamtlösungen für die Systemtechnik inklusive Laseranlagen, Nasschemie und Metallisierung erwerben.
Plan Optik verfügt bereits heute über eine moderne Produktionskette für die Herstellung von Glaswafern und beherrscht sämtliche Prozesschritte vom Waferzuschnitt und der Kantenbearbeitung, über die Strukturierung und Reinigung bis hin zur Metallisierung. Die Ergänzung mit der Anlagentechnologie von 4JET ermöglicht nun das schnelle und positionsgenaue Modifizieren von Substraten. Zum Einsatz kommt dabei eine modifizierte Version der bewährten 4JET Lasersysteme zum Trennen von Glas. Die PEARL Plattform bereits zum Schneiden von Glassubstraten in der Display-, Architekturglas, oder Medizintechnik eingesetzt. Die Anlagen sind je nach Version in der Lage, Glas mit einer Größe von bis zu 2,2 m Breite und mehr als 3 m Länge hochpräzise zu modifizieren.
Eine neue Technologie
Der Einsatz von Lasertechnik zum selektiven Ätzen ist nicht neu, insgesamt liefert die Kooperation jedoch erhebliche Fortschritte für die Kunden: durch die Kombination mit der umfangreichen Prozesskette der Plan Optik AG entsteht die weltweit führende Lösungskette für komplett bearbeitete und metallisierte TGV Wafer. Gleichzeitig ermöglicht die nun erreichbare Präzision, Geschwindigkeit und die Verfügbarkeit auf sehr großen Substraten erstmals die Anwendung in der Displayfertigung.
Die beiden Partner sehen weiteres Potenzial für das VLIS Verfahren für glasbasierte MEMS, Mikrofluidik oder Hochfrequenz-Antennentechnik (z.B. 6G).
Die PEARL-Systeme basieren auf einer Granit-Maschinenplattform, die eine inhärente Genauigkeit und Langzeitstabilität bietet. Schneidgeometrien und Positionen für Interposer können einfach aus CAD-Zeichnungen importiert werden. Die gezielte Abstimmung der Achssteuerungen führt nicht nur zu einer hohen Schnittgeschwindigkeit, sondern auch zu einer exzellenten Bahngenauigkeit, um eine hochpräzise Bearbeitung zu erreichen. Der PEARL DYNAMIC FOCUS sorgt dafür, dass der Fokus immer innerhalb des Prozessfensters liegt, ohne die Prozesszeit zu erhöhen.
Weitere Informationen finden Sie im Internet unter > vlis.tech.
Plan Optik AG
Als Technologieführer produziert die Plan Optik AG an Standorten in Deutschland und Ungarn strukturierte Wafer, die als aktive Elemente für zahlreiche Anwendungen der Mikrosystemtechnik in Branchen wie Consumer Electronics, Automotive, Luft- und Raumfahrt, Chemie und Pharma unverzichtbar sind.
4 Jet Group
Die in Alsdorf ansässige 4JET Gruppe liefert Lösungen für die Oberflächentechnik der Zukunft. Zu den Kunden zählen unter anderem alle weltweit führenden Reifenhersteller, zahlreiche Automotive Zulieferer und OEM, sowie die größten Hersteller von Flachglas und Dünnschicht-Photovoltaikzellen.
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IR-Kontakt
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Stefan Thoma
PLANOPTIK AG
Ueber der Bitz 3
D-56479 Elsoff
Telefon: +49 2664 5068 52
Telefax: +49 2664 5068 91
E-Mail: investor.relations@planoptik.com
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Disclaimer für zukunftsgerichtete Aussagen
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Die auf dieser Website bereitgestellten Dokumente enthalten Aussagen, die sich auf unseren künftigen Geschäftsverlauf und künftige finanzielle Leistungen sowie auf künftige den PLANOPTIK Konzern betreffende Vorgänge oder Entwicklungen beziehen und zukunftsgerichtete Aussagen darstellen können. Diese Aussagen sind erkennbar an Formulierungen wie „erwarten“, „wollen“, „antizipieren“, „beabsichtigen“, „planen“, „glauben“, „anstreben“, „einschätzen“, „werden“ und „vorhersagen“ oder an ähnlichen Begriffen. Wir werden gegebenenfalls auch in anderen Berichten, in Präsentationen, in Unterlagen, die an Aktionäre verschickt werden, und in Pressemitteilungen zukunftsgerichtete Aussagen tätigen. Des Weiteren können von Zeit zu Zeit unsere Vertreter zukunftsgerichtete Aussagen mündlich machen. Solche Aussagen beruhen auf den gegenwärtigen Erwartungen und bestimmten Annahmen des PLANOPTIK-Managements, von denen zahlreiche außerhalb des Einflussbereichs von PLANOPTIK liegen. Sie unterliegen daher einer Vielzahl von Risiken, Ungewissheiten und Faktoren, die in Veröffentlichungen – insbesondere in den Abschnitten „Chancen und Risiken“ des Lageberichts im Geschäftsbericht sowie des Zwischenlageberichts im Halbjahresbericht – beschrieben werden, sich aber nicht auf solche beschränken. Sollten sich eines oder mehrere dieser Risiken oder Ungewissheiten realisieren oder sollte es sich erweisen, dass die zugrunde liegenden Erwartungen nicht eintreten beziehungsweise Annahmen nicht korrekt waren, können die tatsächlichen Ergebnisse, Leistungen und Erfolge von PLANOPTIK (sowohl negativ als auch positiv) wesentlich von denjenigen Ergebnissen abweichen, die ausdrücklich oder implizit in der zukunftsgerichteten Aussage genannt worden sind. PLANOPTIK übernimmt keine Verpflichtung und beabsichtigt auch nicht, diese zukunftsgerichteten Aussagen zu aktualisieren oder bei einer anderen als der erwarteten Entwicklung zu korrigieren.
Dieses Dokument liegt ebenfalls in englischer Übersetzung vor, bei Abweichungen geht die deutsche maßgebliche Fassung des Dokuments der englischen Übersetzung vor. Aus technischen Gründen kann es zu Abweichungen zwischen den in diesem Dokument enthaltenen und den aufgrund gesetzlicher Vorgaben veröffentlichten Rechnungslegungsunterlagen kommen.
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